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具体型号
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NVL300-SCT
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测量行程(X/Y/Z)(mm)
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300x200x150
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激光测头精度
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<0.5μm
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激光测头型号
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S/T
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X、Y轴精度
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E2=(3+L/200)μm
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X、Y轴重复性
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<3μm
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Z轴精度
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E1=(3+L/200)μm
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Z轴重复性
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<3μm
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X、Y轴加速度
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0-250mm/s^2
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Z轴加速度
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0-110mm/s^2
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X、Y轴速度
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0-150mm/s
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Z轴速度
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0-50mm/s
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光学尺分辨率
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1μm(0.5μm可选)
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A轴转动范围
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360°
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A轴转动最大速度
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25°/s
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A轴转动分辨率
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0.00125°
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A轴重复定位精度
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<0.005°
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工作台材质
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硬铝合金
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台面承重
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30kg
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底座材质
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花岗岩
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整机尺寸(mm)
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620x790x875
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整机重量(kg)
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180
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运动控制方式
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半闭环
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使用环境
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电源供给:110V~220V±10% 50/60HZ 温度:20℃ 湿度:45%~75%
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保固期
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1年
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