白光干涉仪SIS2000
基本信息
| 品牌： | SNU | 型号： | SIS 2000 | 操作方式： | 自动 |
| 功能： | 检测、观察、分析 | 精度 ： | 1nm | ||
| 其它型号： | |||||
产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
技术参数
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机型
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SIS 2000
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工作台
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尺寸
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350mm×350mm
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倾斜度
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±3 °
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测量行程
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X:200mm Y:200mm
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Z轴行程
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100mm
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运动方式
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自动，马达驱动
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扫描速度
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30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1nm
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CCD
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黑白CCD， 640×480 像素
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物镜安装架
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手动 5个位移的可定位夹具
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镜头选配
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镜头：5×、10×、20×、50×
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应用领域
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
附件
水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等