白光干涉仪SIS系列
基本信息
| 品牌： | SNU | 型号： | SIS 1200 | 操作方式： | 手动 |
| 功能： | 检测、观察、分析 | 精度 ： | 1nm | ||
| 其它型号： | |||||
产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG全球唯一指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，首尔大学友好合作伙伴。
产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
技术参数
|
机型
|
SIS 1200
|
|
|
工作台
|
尺寸
|
250 mm×174 mm
|
|
倾斜度
|
±3 °
|
|
|
测量行程
|
X:150mm Y:100mm
|
|
|
Z轴行程
|
50mm
|
|
|
运动方式
|
手动
|
|
|
扫描速度
|
30μm/sec
|
|
|
垂直分辨率
|
0.1nm
|
|
|
CCD
|
黑白CCD， 640×480 像素
|
|
|
物镜安装架
|
手动导引五孔式
|
|
|
镜头选配
|
镜头：5×、10×、20×、50×
|
|
应用领域
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
附件
水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等